基本工作原理

材料、半導(dǎo)體專用真空手套箱主要應(yīng)用于材料半導(dǎo)體的真空無氧氣氛或者環(huán)境下的隔離操作，包括進(jìn)出料、稱量、測試水分、理化測試、組裝或者裝填。真空手套箱主要由手套箱體（含全視窗鋼化玻璃、鋁制手套口、￠200x670乳膠手套等）、大小過渡艙、照明、移動(dòng)底架、集成抽、充氣管路等組成。

基本功能

1.視窗采用鋼化玻璃全視窗，手套口開在視窗玻璃上，無觀察死角。

2.視窗法蘭框機(jī)加工而成，視窗在高真空狀態(tài)下可以承受大氣壓力而不變形，保證了箱體的氣密性。

3.手套口直徑為￠200mm，手套為開模定制的乳膠手套，壁厚0.8mm，有效防止水氧的分子級(jí)滲漏。

4.過渡艙門采用氣彈簧平衡，開啟方便。

5.箱體、過渡艙、手套口抽真空及充氣管路集成，方便使用。

材料、半導(dǎo)體專用真空手套箱基本參數(shù)

1.手套箱箱體板料304不銹鋼，外置加強(qiáng)筋。

2.手套口口徑￠200x670mm，配手套口蓋、手套口抽真空管路、手套口密封膠套、固定喉箍。
3.外置LED燈照明（箱體前上方）。
4.箱體內(nèi)置電源插板220V、1KW。
5.電器控制盒（控制照明及真空泵）。
6.15mm鋼化玻璃（耐腐蝕）全視窗。
7.真空手動(dòng)球閥控制抽真空管路、充惰性氣體管路、
8.2.5級(jí)機(jī)械徑向真空表（表盤直徑￠60，顯示相對(duì)真空度：-0.1MPa--0MPa）

基本組成和配置

1. 手套箱箱體板料304不銹鋼，外置加強(qiáng)筋。

2.手套口口徑￠200x670mm，配手套口蓋、手套口抽真空管路、手套口密封膠套、固定喉箍。
3.外置LED燈照明（箱體前上方）。
4.箱體內(nèi)置電源插板220V、1KW。
5.電器控制盒（控制照明及真空泵）。
6.15mm鋼化玻璃（耐腐蝕）全視窗。

7.真空手動(dòng)球閥控制抽真空管路、充惰性氣體管路、
8.2.5級(jí)機(jī)械徑向真空表（表盤直徑￠60，顯示相對(duì)真空度：-0.1MPa--0MPa）。